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CA200 ITO蝕刻液濃度監控系統
蝕刻液濃度監控系統優勢
-可因應膜質(鈀材、成膜條件)與製程Tact Time需求,用控酸方式調整蝕刻液濃度,不須變更蝕刻原液濃度。
n-延長蝕刻藥液的使用壽命,降低生產成本。
n-穩定藥液濃度,降低蝕刻速率的變動,避免undercut, 提昇製程品質。
n-進行藥液濃度監控,適時發出異常Alarm,降低人員誤動作。
n-降低蝕刻廢液排放量,節能又環保。
n-直接持續分析蝕刻液化學成份的濃度,無須經常進行校正,使用便利有效益。
n-配合客戶需求客製化,提供即時的售後服務,提升整體競爭力。
CA200 ITO蝕刻液濃度監控系統
王水之硝酸及鹽酸的濃度控制對ITO蝕刻製程的品質穩定性具有絕對的影響，蝕刻過程中藥液除了蝕刻反應消耗外，溫度、基板析出及析入等其他因素亦會導致成份變化，透過濃度分析及控制可大幅延長王水蝕刻藥液使用壽命降低成本，並可有效提升製程品質與生產力。
本設備是以滴定等方式連續量測王水蝕刻藥液槽中之硝酸和鹽酸的濃度，藉此持續調控蝕刻藥液中硝酸和鹽酸之濃度讓其維持在目標值，穩定蝕刻程序與品質，並大幅延長更換蝕刻液周期降低蝕刻藥液消耗量，達到降低成本提升製程品質目的。本設備亦適用於氯化鐵系列之ITO蝕刻液。
系統特性
- 精確當量點判定提升量測精度
- 獨特取樣避免氣泡干擾, 達到最佳量測再現性
- 精準控制模式, 控制變動性小無Over-supply問題
- 自動/手動校正功能
- 工業級標準零件及耗材搭配精巧設計, 抗腐蝕性佳使用壽命長
- 滴定針筒更換簡易
- 人性化操作介面, 可依製程需求作特定設計
- 依製程需求進行軟硬體設計及功能提升
- 工業級IPC或PAC即時顯示量測曲線及SPC資料
- 線上供酸系統連線進行及時的供應控制
- 配合蝕刻製程循環效率, 自動調整控制參數
- 物件導向(Object-oriented)控制模式, 發揮最大作業效率與便利性
系統規格
n- 主機工業級: IPC或PAC
n- 操作介面: 15”彩色液晶觸控螢幕
n- 量測範圍: 硝酸0~10%、鹽酸0~30% (可調)
n- 量測再現性: 硝酸±0.1 、鹽酸± 0.2%
n- 控制變動: <±0.5%
n- 量測周期: 15~30分鐘
n- 主機尺寸: 850(D) x 900(W) x 1,700(H)mm (可調)
n- 化學櫃尺寸: 800(D) x 1,000(W) x 1,700(H)mm (可調)
n- 主機重量: ~180kg
n- 化學櫃重量: ~100kg
n- 電源需求單相: 220V/20A
n- 氣壓需求: > 5kg/cm2 (10mm快速接頭/SUS316材質)
n- DIW需求: > 1kg(管徑1/2”Socket接頭/CLEAN PVC材質)
n- 排液需求: 兩個獨立1/2”排水管(Socket接頭/CLEAN PVC材質)
n- 排氣需求: 管徑2” (Flange接頭/PP材質x2)
系統特性
- 精確當量點判定提升量測精度
- 獨特取樣避免氣泡干擾, 達到最佳量測再現性
- 精準控制模式, 控制變動性小無Over-supply問題
- 自動/手動校正功能
- 工業級標準零件及耗材搭配精巧設計, 抗腐蝕性佳使用壽命長
- 滴定針筒更換簡易
- 人性化操作介面, 可依製程需求作特定設計
- 依製程需求進行軟硬體設計及功能提升
- 工業級IPC或PAC即時顯示量測曲線及SPC資料
- 線上供酸系統連線進行及時的供應控制
- 配合蝕刻製程循環效率, 自動調整控制參數
- 物件導向(Object-oriented)控制模式, 發揮最大作業效率與便利性
系統規格
n- 主機工業級: IPC或PAC
n- 操作介面: 15”彩色液晶觸控螢幕
n- 量測範圍: 硝酸0~10%、鹽酸0~30% (可調)
n- 量測再現性: 硝酸±0.1 、鹽酸± 0.2%
n- 控制變動: <±0.5%
n- 量測周期: 15~30分鐘
n- 主機尺寸: 850(D) x 900(W) x 1,700(H)mm (可調)
n- 化學櫃尺寸: 800(D) x 1,000(W) x 1,700(H)mm (可調)
n- 主機重量: ~180kg
n- 化學櫃重量: ~100kg
n- 電源需求單相: 220V/20A
n- 氣壓需求: > 5kg/cm2 (10mm快速接頭/SUS316材質)
n- DIW需求: > 1kg(管徑1/2”Socket接頭/CLEAN PVC材質)
n- 排液需求: 兩個獨立1/2”排水管(Socket接頭/CLEAN PVC材質)
n- 排氣需求: 管徑2” (Flange接頭/PP材質x2)