首页 ＞ 商品介绍 > CA200 ITO蚀刻液浓度监控系统
CA200 ITO蚀刻液浓度监控系统
蚀刻液浓度监控系统优势
-可因应膜质(钯材、成膜条件)与制程Tact Time需求,用控酸方式调整蚀刻液浓度,不须变更蚀刻原液浓度。
n-延长蚀刻药液的使用寿命,降低生产成本。
n-稳定药液浓度,降低蚀刻速率的变动,避免undercut, 提升制程品质。
n-进行药液浓度监控,适时发出异常Alarm,降低人员误动作。
n-降低蚀刻废液排放量,节能又环保。
n-直接持续分析蚀刻液化学成份的浓度,无须经常进行校正,使用便利有效益。
n-配合客户需求客制化,提供即时的售后服务,提升整体竞争力。
CA200 ITO蚀刻液浓度监控系统
王水之硝酸及盐酸的浓度控制对ITO蚀刻制程的品质稳定性具有绝对的影响，蚀刻过程中药液除了蚀刻反应消耗外，温度、基板析出及析入等其他因素亦会导致成份变化，透过浓度分析及控制可大幅延长王水蚀刻药液使用寿命降低成本，并可有效提升制程品质与生产力。
本设备是以滴定等方式连续量测王水蚀刻药液槽中之硝酸和盐酸的浓度，藉此持续调控蚀刻药液中硝酸和盐酸之浓度让其维持在目标值，稳定蚀刻程序与品质，并大幅延长更换蚀刻液周期降低蚀刻药液消耗量，达到降低成本提升制程品质目的。本设备亦适用於氯化铁系列之ITO蚀刻液。
系统特性
- 精确当量点判定提升量测精度
- 独特取样避免气泡干扰, 达到最佳量测再现性
- 精准控制模式, 控制变动性小无Over-supply问题
- 自动/手动校正功能
- 工业级标准零件及耗材搭配精巧设计, 抗腐蚀性佳使用寿命长
- 滴定针筒更换简易
- 人性化操作介面, 可依制程需求作特定设计
- 依制程需求进行软硬体设计及功能提升
- 工业级IPC或PAC即时显示量测曲线及SPC资料
- 线上供酸系统连线进行及时的供应控制
- 配合蚀刻制程循环效率, 自动调整控制参数
- 物件导向(Object-oriented)控制模式, 发挥最大作业效率与便利性
系统规格
n- 主机工业级: IPC或PAC
n- 操作介面: 15”彩色液晶触控萤幕
n- 量测范围: 硝酸0~10%、盐酸0~30% (可调)
n- 量测再现性: 硝酸±0.1 、盐酸± 0.2%
n- 控制变动: <±0.5%
n- 量测周期: 15~30分钟
n- 主机尺寸: 850(D) x 900(W) x 1,700(H)mm (可调)
n- 化学柜尺寸: 800(D) x 1,000(W) x 1,700(H)mm (可调)
n- 主机重量: ~180kg
n- 化学柜重量: ~100kg
n- 电源需求单相: 220V/20A
n- 气压需求: > 5kg/cm2 (10mm快速接头/SUS316材质)
n- DIW需求: > 1kg(管径1/2”Socket接头/CLEAN PVC材质)
n- 排液需求: 两个独立1/2”排水管(Socket接头/CLEAN PVC材质)
n- 排气需求: 管径2” (Flange接头/PP材质x2)
系统特性
- 精确当量点判定提升量测精度
- 独特取样避免气泡干扰, 达到最佳量测再现性
- 精准控制模式, 控制变动性小无Over-supply问题
- 自动/手动校正功能
- 工业级标准零件及耗材搭配精巧设计, 抗腐蚀性佳使用寿命长
- 滴定针筒更换简易
- 人性化操作介面, 可依制程需求作特定设计
- 依制程需求进行软硬体设计及功能提升
- 工业级IPC或PAC即时显示量测曲线及SPC资料
- 线上供酸系统连线进行及时的供应控制
- 配合蚀刻制程循环效率, 自动调整控制参数
- 物件导向(Object-oriented)控制模式, 发挥最大作业效率与便利性
系统规格
n- 主机工业级: IPC或PAC
n- 操作介面: 15”彩色液晶触控萤幕
n- 量测范围: 硝酸0~10%、盐酸0~30% (可调)
n- 量测再现性: 硝酸±0.1 、盐酸± 0.2%
n- 控制变动: <±0.5%
n- 量测周期: 15~30分钟
n- 主机尺寸: 850(D) x 900(W) x 1,700(H)mm (可调)
n- 化学柜尺寸: 800(D) x 1,000(W) x 1,700(H)mm (可调)
n- 主机重量: ~180kg
n- 化学柜重量: ~100kg
n- 电源需求单相: 220V/20A
n- 气压需求: > 5kg/cm2 (10mm快速接头/SUS316材质)
n- DIW需求: > 1kg(管径1/2”Socket接头/CLEAN PVC材质)
n- 排液需求: 两个独立1/2”排水管(Socket接头/CLEAN PVC材质)
n- 排气需求: 管径2” (Flange接头/PP材质x2)