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CA300铬蚀刻液浓度监控系统
蚀刻液浓度监控系统优势
-可因应膜质(钯材、成膜条件)与制程Tact Time需求,用控酸方式调整蚀刻液浓度,不须变更蚀刻原液浓度。
-延长蚀刻药液的使用寿命, 降低生产成本。
-稳定药液浓度,降低蚀刻速率的变动,避免undercut, 提升制程品质。
-进行药液浓度监控, 适时发出异常Alarm, 降低人员误动作。
-降低蚀刻废液排放量, 节能又环保。
-直接持续分析蚀刻液化学成份的浓度, 无须经常进行校正, 使用便利有效益。
-配合客户需求客制化, 提供即时的售后服务, 提升整体竞争力。
CA300铬蚀刻液浓度监控系统
硝酸及硝酸铵铈(IV)的浓度控制对铬蚀刻制程的品质稳定性具有绝对的影响，蚀刻过程中药液除了蚀刻反应消耗外，温度、基板析出及析入等其他因素亦会导致成份变化，透过浓度分析及控制可大幅延长蚀刻药液使用寿命降低成本，并有效提升制程品质与生产力。
本设备是以滴定等方式连续量测铬蚀刻药液槽中之硝酸和硝酸铵铈(IV)的浓度，藉此持续调控蚀刻药液中硝酸和硝酸铵铈(IV)之浓度让其维持在目标值，稳定蚀刻程序与品质，并大幅降低蚀刻药液消耗量及延长更换蚀刻液时间，达到减少废液排放、降低成本、提升制程品质等目的。
系统特性
- 精确当量点判定, 提升量测精度
- 独特取样避免气泡干扰, 达到最佳量测再现性
- 精准控制模式, 控制变动性小无Over-supply问题
- 自动/手动校正功能
- 工业级标准零件及耗材搭配精巧设计, 使用寿命长
- 滴定针筒更换简易
- 人性化操作介面, 可依制程需求作特定设计
- 依制程需求进行软硬体设计及功能提升
- 工业级IPC或PAC即时显示量测曲线及SPC资料
- 线上供酸系统连线进行及时的供应控制
- 配合蚀刻制程循环效率, 自动调整控制参数
- 物件导向(Object-oriented)控制模式, 发挥最大作业效率与便利性
系统规格
-主机工业级: IPC或PAC
-操作介面: 15”彩色液晶触控萤幕
-量测范围: 硝酸0~20%、硝酸铵铈(IV)0~30%(可调)
-量测再现性: 硝酸±0.2 、硝酸铵铈(IV)± 0.2%
-控制变动: <±0.5%
-量测周期: 15~30分钟
-主机尺寸: 850(D) x 900(W) x 1,700(H)mm (可调)
-化学柜尺寸: 800(D) x 1,000(W) x 1,700(H)mm (可调)
-主机重量: ~180kg
-化学柜重量: ~100kg
-电源需求单相: 220V/20A
-气压需求: >5kg/cm2(10mm快速接头/SUS316材质)
- DIW需求: >1kg(管径1/2”Socket接头/CLEAN PVC材质)
-排液需求: 两个独立1/2”排水管(Socket接头/CLEAN PVC材质)
-排气需求: 管径2” (Flange接头/PP材质x2, SUS316材质x1)
-可因应膜质(钯材、成膜条件)与制程Tact Time需求,用控酸方式调整蚀刻液浓度,不须变更蚀刻原液浓度。
-延长蚀刻药液的使用寿命, 降低生产成本。
-稳定药液浓度,降低蚀刻速率的变动,避免undercut, 提升制程品质。
-进行药液浓度监控, 适时发出异常Alarm, 降低人员误动作。
-降低蚀刻废液排放量, 节能又环保。
-直接持续分析蚀刻液化学成份的浓度, 无须经常进行校正, 使用便利有效益。
-配合客户需求客制化, 提供即时的售后服务, 提升整体竞争力。
CA300铬蚀刻液浓度监控系统
硝酸及硝酸铵铈(IV)的浓度控制对铬蚀刻制程的品质稳定性具有绝对的影响，蚀刻过程中药液除了蚀刻反应消耗外，温度、基板析出及析入等其他因素亦会导致成份变化，透过浓度分析及控制可大幅延长蚀刻药液使用寿命降低成本，并有效提升制程品质与生产力。
本设备是以滴定等方式连续量测铬蚀刻药液槽中之硝酸和硝酸铵铈(IV)的浓度，藉此持续调控蚀刻药液中硝酸和硝酸铵铈(IV)之浓度让其维持在目标值，稳定蚀刻程序与品质，并大幅降低蚀刻药液消耗量及延长更换蚀刻液时间，达到减少废液排放、降低成本、提升制程品质等目的。
系统特性
- 精确当量点判定, 提升量测精度
- 独特取样避免气泡干扰, 达到最佳量测再现性
- 精准控制模式, 控制变动性小无Over-supply问题
- 自动/手动校正功能
- 工业级标准零件及耗材搭配精巧设计, 使用寿命长
- 滴定针筒更换简易
- 人性化操作介面, 可依制程需求作特定设计
- 依制程需求进行软硬体设计及功能提升
- 工业级IPC或PAC即时显示量测曲线及SPC资料
- 线上供酸系统连线进行及时的供应控制
- 配合蚀刻制程循环效率, 自动调整控制参数
- 物件导向(Object-oriented)控制模式, 发挥最大作业效率与便利性
系统规格
-主机工业级: IPC或PAC
-操作介面: 15”彩色液晶触控萤幕
-量测范围: 硝酸0~20%、硝酸铵铈(IV)0~30%(可调)
-量测再现性: 硝酸±0.2 、硝酸铵铈(IV)± 0.2%
-控制变动: <±0.5%
-量测周期: 15~30分钟
-主机尺寸: 850(D) x 900(W) x 1,700(H)mm (可调)
-化学柜尺寸: 800(D) x 1,000(W) x 1,700(H)mm (可调)
-主机重量: ~180kg
-化学柜重量: ~100kg
-电源需求单相: 220V/20A
-气压需求: >5kg/cm2(10mm快速接头/SUS316材质)
- DIW需求: >1kg(管径1/2”Socket接头/CLEAN PVC材质)
-排液需求: 两个独立1/2”排水管(Socket接头/CLEAN PVC材质)
-排气需求: 管径2” (Flange接头/PP材质x2, SUS316材质x1)