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CA300鉻蝕刻液濃度監控系統
蝕刻液濃度監控系統優勢
-可因應膜質(鈀材、成膜條件)與製程Tact Time需求,用控酸方式調整蝕刻液濃度,不須變更蝕刻原液濃度。
-延長蝕刻藥液的使用壽命, 降低生產成本。
-穩定藥液濃度,降低蝕刻速率的變動,避免undercut, 提昇製程品質。
-進行藥液濃度監控, 適時發出異常Alarm, 降低人員誤動作。
-降低蝕刻廢液排放量, 節能又環保。
-直接持續分析蝕刻液化學成份的濃度, 無須經常進行校正, 使用便利有效益。
-配合客戶需求客製化, 提供即時的售後服務, 提升整體競爭力。
CA300鉻蝕刻液濃度監控系統
硝酸及硝酸銨鈰(IV)的濃度控制對鉻蝕刻製程的品質穩定性具有絕對的影響，蝕刻過程中藥液除了蝕刻反應消耗外，溫度、基板析出及析入等其他因素亦會導致成份變化，透過濃度分析及控制可大幅延長蝕刻藥液使用壽命降低成本，並有效提升製程品質與生產力。
本設備是以滴定等方式連續量測鉻蝕刻藥液槽中之硝酸和硝酸銨鈰(IV)的濃度，藉此持續調控蝕刻藥液中硝酸和硝酸銨鈰(IV)之濃度讓其維持在目標值，穩定蝕刻程序與品質，並大幅降低蝕刻藥液消耗量及延長更換蝕刻液時間，達到減少廢液排放、降低成本、提升製程品質等目的。
系統特性
- 精確當量點判定, 提升量測精度
- 獨特取樣避免氣泡干擾, 達到最佳量測再現性
- 精準控制模式, 控制變動性小無Over-supply問題
- 自動/手動校正功能
- 工業級標準零件及耗材搭配精巧設計, 使用壽命長
- 滴定針筒更換簡易
- 人性化操作介面, 可依製程需求作特定設計
- 依製程需求進行軟硬體設計及功能提升
- 工業級IPC或PAC即時顯示量測曲線及SPC資料
- 線上供酸系統連線進行及時的供應控制
- 配合蝕刻製程循環效率, 自動調整控制參數
- 物件導向(Object-oriented)控制模式, 發揮最大作業效率與便利性
系統規格
-主機工業級: IPC或PAC
-操作介面: 15”彩色液晶觸控螢幕
-量測範圍: 硝酸0~20%、硝酸銨鈰(IV)0~30%(可調)
-量測再現性: 硝酸±0.2 、硝酸銨鈰(IV)± 0.2%
-控制變動: <±0.5%
-量測周期: 15~30分鐘
-主機尺寸: 850(D) x 900(W) x 1,700(H)mm (可調)
-化學櫃尺寸: 800(D) x 1,000(W) x 1,700(H)mm (可調)
-主機重量: ~180kg
-化學櫃重量: ~100kg
-電源需求單相: 220V/20A
-氣壓需求: >5kg/cm2(10mm快速接頭/SUS316材質)
- DIW需求: >1kg(管徑1/2”Socket接頭/CLEAN PVC材質)
-排液需求: 兩個獨立1/2”排水管(Socket接頭/CLEAN PVC材質)
-排氣需求: 管徑2” (Flange接頭/PP材質x2, SUS316材質x1)
-可因應膜質(鈀材、成膜條件)與製程Tact Time需求,用控酸方式調整蝕刻液濃度,不須變更蝕刻原液濃度。
-延長蝕刻藥液的使用壽命, 降低生產成本。
-穩定藥液濃度,降低蝕刻速率的變動,避免undercut, 提昇製程品質。
-進行藥液濃度監控, 適時發出異常Alarm, 降低人員誤動作。
-降低蝕刻廢液排放量, 節能又環保。
-直接持續分析蝕刻液化學成份的濃度, 無須經常進行校正, 使用便利有效益。
-配合客戶需求客製化, 提供即時的售後服務, 提升整體競爭力。
CA300鉻蝕刻液濃度監控系統
硝酸及硝酸銨鈰(IV)的濃度控制對鉻蝕刻製程的品質穩定性具有絕對的影響，蝕刻過程中藥液除了蝕刻反應消耗外，溫度、基板析出及析入等其他因素亦會導致成份變化，透過濃度分析及控制可大幅延長蝕刻藥液使用壽命降低成本，並有效提升製程品質與生產力。
本設備是以滴定等方式連續量測鉻蝕刻藥液槽中之硝酸和硝酸銨鈰(IV)的濃度，藉此持續調控蝕刻藥液中硝酸和硝酸銨鈰(IV)之濃度讓其維持在目標值，穩定蝕刻程序與品質，並大幅降低蝕刻藥液消耗量及延長更換蝕刻液時間，達到減少廢液排放、降低成本、提升製程品質等目的。
系統特性
- 精確當量點判定, 提升量測精度
- 獨特取樣避免氣泡干擾, 達到最佳量測再現性
- 精準控制模式, 控制變動性小無Over-supply問題
- 自動/手動校正功能
- 工業級標準零件及耗材搭配精巧設計, 使用壽命長
- 滴定針筒更換簡易
- 人性化操作介面, 可依製程需求作特定設計
- 依製程需求進行軟硬體設計及功能提升
- 工業級IPC或PAC即時顯示量測曲線及SPC資料
- 線上供酸系統連線進行及時的供應控制
- 配合蝕刻製程循環效率, 自動調整控制參數
- 物件導向(Object-oriented)控制模式, 發揮最大作業效率與便利性
系統規格
-主機工業級: IPC或PAC
-操作介面: 15”彩色液晶觸控螢幕
-量測範圍: 硝酸0~20%、硝酸銨鈰(IV)0~30%(可調)
-量測再現性: 硝酸±0.2 、硝酸銨鈰(IV)± 0.2%
-控制變動: <±0.5%
-量測周期: 15~30分鐘
-主機尺寸: 850(D) x 900(W) x 1,700(H)mm (可調)
-化學櫃尺寸: 800(D) x 1,000(W) x 1,700(H)mm (可調)
-主機重量: ~180kg
-化學櫃重量: ~100kg
-電源需求單相: 220V/20A
-氣壓需求: >5kg/cm2(10mm快速接頭/SUS316材質)
- DIW需求: >1kg(管徑1/2”Socket接頭/CLEAN PVC材質)
-排液需求: 兩個獨立1/2”排水管(Socket接頭/CLEAN PVC材質)
-排氣需求: 管徑2” (Flange接頭/PP材質x2, SUS316材質x1)