CA100鋁(鉬)蝕刻液濃度監控系統
蝕刻液濃度監控系統優勢
-可因應膜質(鈀材、成膜條件)與製程Tact Time需求, 用控酸方式調整蝕刻液濃度,不須變更蝕刻原液濃度。
n-延長蝕刻藥液使用壽命,降低生產成本。
n-穩定藥液濃度,降低蝕刻速率的變動, 避免undercut, 提昇製程品質。
n-進行藥液濃度監控, 適時發出異常Alarm, 降低人員誤動作。
n-降低蝕刻廢液排放量, 節能又環保。
n-直接持續分析蝕刻液化學成份的濃度,無須經常進行校正,使用便利有效益。
n-配合客戶需求客製化, 提供即時的售後服務, 提升整體競爭力。
CA100鋁(鉬)蝕刻液濃度監控系統
硝酸及醋酸的濃度控制對鋁(鉬)蝕刻製程的品質穩定性具有絕對的影響，蝕刻過程中藥液除了蝕刻反應消耗外，溫度、基板析出及析入等其他因素亦會導致成份變化，透過濃度分析及控制可大幅延長蝕刻藥液使用壽命降低成本，並有效提升製程品質與生產力。
本設備是以滴定方式連續量測鋁(鉬)蝕刻藥液槽中之硝酸、醋酸和磷酸的濃度，藉此持續調控蝕刻藥液中硝酸和醋酸之濃度讓其維持在目標值，穩定蝕刻程序與品質，並大幅降低蝕刻藥液消耗量及延長更換蝕刻液時間，達到降低成本提升製程品質目的。
系統特性
n-精確當量點判定, 提升量測精度
n-獨特取樣避免氣泡干擾, 達到最佳量測再現性
n-精準控制模式, 控制變動性小無Over-supply問題
n-自動/手動校正功能
n-工業級標準零件及耗材搭配精巧設計, 使用壽命長
n-滴定針筒更換簡易
n-人性化操作介面, 可依製程需求作特定設計
n-依製程需求進行軟硬體設計及功能提升
n-工業級IPC或PAC即時顯示量測曲線及SPC資料
n-線上供酸系統連線進行及時的供應控制
n-配合蝕刻製程循環效率, 自動調整控制參數
n-物件導向(Object-oriented)控制模式, 發揮最大作業效率與便利性
系統規格
n-主機: 工業級IPC或PAC
n-操作介面: 15”彩色液晶觸控螢幕
n-量測範圍: 硝酸0~10%、醋酸0~20%、磷酸0~80% (可調)
n-量測再現性: 硝酸±0.1 、醋酸± 0.3%、磷酸± 0.3%
n-控制變動: <±0.5%
n-量測周期: 15~30分鐘
n-主機尺寸: 850(D) x 900(W) x 1,700(H)mm (可調)
n-化學櫃尺寸: 800(D) x 1,000(W) x 1,700(H)mm (可調)
n-主機重量: ~180kg
n-化學櫃重量: ~100kg
n-電源需求: 單相220V/20A
n-氣壓需求: > 5Kg/cm2 (10mm快速接頭/SUS316材質)
n- DIW需求: >1Kg(管徑1/2”Socket接頭/材質)
-排液需求: 兩個獨立1/2”排水管(Socket接頭/ 材質)
-排氣需求: 管徑2”(接頭/PP材質x2, SUS316材質x1)