CA100铝(钼)蚀刻液浓度监控系统
蚀刻液浓度监控系统优势
-可因应膜质(钯材、成膜条件)与制程Tact Time需求, 用控酸方式调整蚀刻液浓度,不须变更蚀刻原液浓度。
n-延长蚀刻药液使用寿命,降低生产成本。
n-稳定药液浓度,降低蚀刻速率的变动, 避免undercut, 提升制程品质。
n-进行药液浓度监控, 适时发出异常Alarm, 降低人员误动作。
n-降低蚀刻废液排放量, 节能又环保。
n-直接持续分析蚀刻液化学成份的浓度,无须经常进行校正,使用便利有效益。
n-配合客户需求客制化, 提供即时的售后服务, 提升整体竞争力。
CA100铝(钼)蚀刻液浓度监控系统
硝酸及醋酸的浓度控制对铝(钼)蚀刻制程的品质稳定性具有绝对的影响，蚀刻过程中药液除了蚀刻反应消耗外，温度、基板析出及析入等其他因素亦会导致成份变化，透过浓度分析及控制可大幅延长蚀刻药液使用寿命降低成本，并有效提升制程品质与生产力。
本设备是以滴定方式连续量测铝(钼)蚀刻药液槽中之硝酸、醋酸和磷酸的浓度，藉此持续调控蚀刻药液中硝酸和醋酸之浓度让其维持在目标值，稳定蚀刻程序与品质，并大幅降低蚀刻药液消耗量及延长更换蚀刻液时间，达到降低成本提升制程品质目的。
系统特性
n-精确当量点判定, 提升量测精度
n-独特取样避免气泡干扰, 达到最佳量测再现性
n-精准控制模式, 控制变动性小无Over-supply问题
n-自动/手动校正功能
n-工业级标准零件及耗材搭配精巧设计, 使用寿命长
n-滴定针筒更换简易
n-人性化操作介面, 可依制程需求作特定设计
n-依制程需求进行软硬体设计及功能提升
n-工业级IPC或PAC即时显示量测曲线及SPC资料
n-线上供酸系统连线进行及时的供应控制
n-配合蚀刻制程循环效率, 自动调整控制参数
n-物件导向(Object-oriented)控制模式, 发挥最大作业效率与便利性
系统规格
n-主机: 工业级IPC或PAC
n-操作介面: 15”彩色液晶触控萤幕
n-量测范围: 硝酸0~10%、醋酸0~20%、磷酸0~80% (可调)
n-量测再现性: 硝酸±0.1 、醋酸± 0.3%、磷酸± 0.3%
n-控制变动: <±0.5%
n-量测周期: 15~30分钟
n-主机尺寸: 850(D) x 900(W) x 1,700(H)mm (可调)
n-化学柜尺寸: 800(D) x 1,000(W) x 1,700(H)mm (可调)
n-主机重量: ~180kg
n-化学柜重量: ~100kg
n-电源需求: 单相220V/20A
n-气压需求: > 5Kg/cm2 (10mm快速接头/SUS316材质)
n- DIW需求: >1Kg(管径1/2”Socket接头/材质)
-排液需求: 两个独立1/2”排水管(Socket接头/ 材质)
-排气需求: 管径2”(接头/PP材质x2, SUS316材质x1)