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PLASMA等离子设备3
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PLASMA等离子设备

 

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随著气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,同时发出辉光,等离子体在电磁场内空间运动,轰击被处理物体表面,从而达到表面活化、清洗和刻蚀的效果。