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等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發生碰撞而形成等離子體，同時發出輝光，等離子體在電磁場內空間運動，轟擊被處理物體表面，從而達到表面活化、清洗和刻蝕的效果。